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盛美上海新总部 本报记者 黄一灵 摄

 　2005年成立、2008年研发出全球首创的SAPS（空间交变相移）兆声波清洗技术、2011年首台12英寸单片清洗设备拿到海外订单、2013年至今持续维持盈利状态、2017年后设备销售呈指数增长趋势。二十年磨一剑，半导体设备制造商盛美上海如今已成长为一家平台化公司，布局了七大板块产品，正向着成为全球半导体设备公司第一梯队的目标大步迈进。

　　今年不仅是盛美上海创立二十周年，也是其登陆科创板的第四年。盛美上海总经理王坚近日在接受中国证券报记者专访时表示，公司深切体会到科创板这一平台对企业发展的全方位助推作用。上市以来，盛美上海迎来了前所未有的发展机遇，实现了从技术积累到产能突破的质的飞跃，同时在财务指标上也实现了快速增长。

　　“精进内功，是我们矢志不渝的追求。接下来我们将继续坚持‘技术差异化、产品平台化、客户全球化’的发展战略，以差异化创新铸就‘芯’高度，积极向全球市场扩张，为全球集成电路行业提供卓越的设备及工艺解决方案。”王坚进一步称。

　　从清洗设备崛起

　　半导体设备是半导体行业的基石，在中国半导体设备产业发展过程中，盛美上海可谓生逢其时。“盛美上海于2005年创立，当时中国半导体设备产业也才逐步兴起，幸运的是我们没有错过行业的黄金发展期。”谈及盛美上海发展历程时，王坚感慨地说道。

　　凭借公司对半导体设备产业的理解，清洗设备是盛美上海一开始选择切入的赛道。据王坚介绍，在科创板上市之前，盛美上海便已通过自主研发并具有全球知识产权保护的SAPS和TEBO（时序能激气穴震荡）兆声波清洗技术，解决了兆声波技术在集成电路单片清洗设备上应用时，兆声波能量如何在晶圆上均匀分布及如何实现图形结构无损伤的全球性难题。

　　“也是凭借SAPS技术，2011年公司获得海力士韩国总部的量产订单，并在2013年获得多台重复订单，成为中国本土高端半导体设备突破韩国市场的首家企业。”王坚说。

　　看似寻常最奇崛，成如容易却艰辛。这份成绩来之不易，背后是盛美上海一步一个脚印集中资源潜心研究原创技术的结果。目前，盛美上海的清洗设备可覆盖95%的清洗工艺步骤，成为全球清洗设备种类最齐全的供应商，2024年在全球市场的占比达8%，排名第四。

　　在清洗设备取得一定市场占有率后，盛美上海的战略是要成为一家平台化公司，即要不断扩大产品组合。随后，公司陆续在电镀设备、先进封装湿法设备、立式炉管设备、前道涂胶显影设备、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备、面板级封装设备等领域扩大布局。其中涂胶显影设备、PECVD设备和面板级封装设备是公司上市后开始研发生产，并陆续推向市场。

　　在王坚看来，公司已经基本完成平台化产品布局，这也要归功于科创板的助力。“像上市后研发生产的三大类设备其实在上市前已有相关布局，但当时研发资源有限，在上市获得资本活水后我们才开始心无旁骛抓研发。如果没有科创板上市，我们这三大类设备推出时间大概率会延后。”王坚称，上市增强了研发能力，这种内生动力的强化，为公司构筑了更深的护城河。

　　同时，在公司上市后，清洗设备、电镀设备、先进封装湿法设备、立式炉管设备的种类及先进性也在持续升级和迭代。“研发不能停、市场拓展不能等。”王坚透露，目前公司订单第三季度已排满，第四季度也即将排满。

　　走差异化发展道路

　　“半导体设备行业对可靠性和精密性要求非常高，真正能够做成平台化的公司很少，全球也就只有几家。因为要把一种设备做好做精就已相当不容易，更不用说做多类产品。这需要时间的耕耘，更需要原始创新能力。”王坚直言。

　　体现原始创新能力的一大关键指标是专利。数据显示，截至2024年末盛美上海及控股子公司累计申请专利1526项，比2023年末增长37.11%。截至2024年末，公司及控股子公司拥有已获授予专利权470项（其中发明专利共计468项），比2023年末增长8.05%，其中境内授权专利176项，境外授权专利294项。

　　为何境外授权专利数量会远高于境内？这源于盛美上海的差异化发展道路。王坚称：“我们发现当把产品卖给海外客户时，他们最关注的不仅仅是技术水平高低，更要审查你的专利是否侵权。因此，我们坚持不做逆向工程，只做正向开发。我们开发的产品一定要拥有自主知识产权，不能违反国内外友商的专利，即要跟友商采用完全不同的技术路线。”

　　在技术路线和知识产权上的坚持也让盛美上海持续在市场绽放光彩：公司推出的多款拥有自主知识产权的新设备、新工艺，包括立式炉管设备、前道涂胶显影设备、PECVD设备，核心技术均来源于自主研发，部分核心技术已达到国内领先或国际领先的水平。

　　值得一提的是，公司自主研发的具有全球知识产权保护的Tahoe清洗设备，在单个湿法清洗设备中集成了槽式模块和单片模块，在满足客户工艺需求的同时，通过减少高达75%的硫酸消耗量，帮助客户降低生产成本又能更好符合国家节能减排政策。

　　“这个Tahoe设备的开发并不容易，因为这是业界没有的技术路线，我们是第一个‘吃螃蟹的人’。”王坚说，这也是少有的由中国企业率先提出且在上海研发、在上海客户端验证的半导体设备，目前已有全球半导体设备龙头公司对此技术路线进行相关研究并跟随。这一次，中国半导体设备在清洗细分市场上引领了全球行业的发展。我们相信未来还有更多的新概念设备将由中国半导体设备公司率先提出，与国际设备商比肩，共同促进全球半导体产业的蓬勃发展。

　　为进一步增强竞争护城河，盛美上海还在持续完善产业布局。今年6月，盛美上海再融资事项获中国证监会批文。据悉，此次再融资的募投项目包括高端半导体设备迭代研发项目、研发和工艺测试平台建设项目，将助推公司研发技术和产品多元化不断提升。

　　为全球半导体的工业发展贡献力量

　　一直以来，盛美上海持续践行“客户全球化”的发展战略，积极开拓全球市场。

　　“我们的目标还是没有变化，未来希望国内国外的订单量各占半壁江山。”王坚称，公司有信心将自主研发的差异化产品持续推向包括韩国、美国、欧洲、新加坡等东南亚在内的全球市场，并持续扩大海外市场销售份额，为全球半导体的工业发展贡献力量。

　　盛美上海的信心源于两方面。一方面是资本市场优势。据悉，公司和公司控股股东分别在A股、美股两地上市。“我们将充分发挥这一独特的双重资本市场优势，持续推进技术差异化、产品平台化、客户全球化的发展战略，持续提升产品竞争优势，并在服务好中国客户的同时，利用公司控股股东在海外资本市场的知名度，努力将中国研发的半导体设备推向全球。”王坚表示。

　　另一方面，仍是差异化竞争优势。盛美上海目前自主研发的差异化核心设备获得多家国际客户的关注与认可。公司目前与韩国、美国的客户合作洽谈稳步推进，进展良好。对于海外其他客户，包括与欧洲、新加坡及其他亚洲市场的客户，目前合作进展也较为顺利。

　　此外，盛美上海还利用上市后的平台优势，积极推进产品全球化战略。“为了进一步开拓韩国市场，我们在韩国招了一批有经验的工程师，实施就地化研发，更好地服务韩国客户。”王坚进一步称。

　　凡是过往，皆为序章。面向未来，实现从行业创新者到标准制定者的跨越是盛美上海新的课题。王坚直言：“差异化创新我们一定会继续做下去，力争用创新的技术产品打入全球产业链。”